溅射制备二氧化硅薄膜，通常采用什么溅射方法

【参考答案】

答案：磁控溅射法溅射制备二氧化硅薄膜时，通常采用磁控溅射法。磁控溅射是一种物理气相沉积技术，它利用磁场增强等离子体中的电......

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